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鳥見 聡 and 矢吹 紀人 and 篠原 正人 and 寺元 陽次 and 野上 暁 and 金子 忠昭,Si蒸気圧エッチング法による4H-SiC表面の加工変質層除去とその効果,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-08-31,2015.2,0,3229-3229,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390858773326316288,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3229