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長谷川 雄一 and 小川 大輔 and 中村 圭二 and 小林 理 and 菅井 秀郎,大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化Ⅱ,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-02-26,2015.1,0,1621-1621,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390859016476889856,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1621