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角田 啓 and 大澤 健男 and 大橋 直樹 and 石垣 隆正,高周波マグネトロンスパッタリング法によるZnO薄膜の極性制御,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-02-26,2015.1,0,3869-3869,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390859016478902784,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3869