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角元 友樹 and 龍頭 啓充 and 竹内 光明 and 高岡 義寛,アセトンクラスターイオンビームのSi表面への照射効果,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2013-08-31,2013.2,0,2438-2438,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390859989724369536,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2438