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松島 宏一 and 清水 僚太 and 山下 大輔 and 鎌滝 晋礼 and 徐 鉉雄 and 内田 儀一郎 and 古閑 一憲 and 白谷 正治 and 板垣 奈穂,RFマグネトロンスパッタリング法による高移動度ワイドギャップ半導体ZnInON膜の作製－Ar分圧依存性－,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2013-08-31,2013.2,0,4444-4444,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390859989725775872,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_4444