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Taguchi Hideyuki and Kitahara Amane and Miyake Syugo and Nakaue Akimitsu and Fujiwara Yasufumi,Analysis of Crystalline in GaN Epitaxial Layer after the Wafer Dicing Process,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2013-08-31,2013.2,0,701-701,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390859989726109824,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_701