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Gavriel Jeremy and 田岡 祐樹 and 齊藤 滋規,Influence of heat-induced changeable stiffness at the contact interface on the gripping force of a bipolar electrostatic chuck,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,337-338,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390860255283053824,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_337