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井上 滉平 and 岩崎 渉 and 森田 伸友 and 伊藤 高廣 and 村上 直,タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,638-639,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390860255283192192,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_638