著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 木下 亮祐 and 曹 健傑 and 孫 栄硯 and 有馬 健太 and 山村 和也 and 青木 一史,電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発(第9報),精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,775-775,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390860255283204480,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_775