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市橋 岳 and 龍頭 啓充 and 竹内 光明 and 高岡 義寛,水クラスターイオンビーム照射によるPMMA基板のマイクロパターニング,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2011-08-16,2011.2,0,1187-1187,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390861327756182144,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1187