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竹内 光明 and 龍頭 啓充 and 高岡 義寛,シリコン基板への炭素系多原子分子イオンビーム蒸着,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2011-03-09,2011.1,0,1751-1751,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390861725897173376,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1751