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矢嶋 理子 and 栗林 均 and 今井 朋弘 and 遠藤 孝子 and 松本 悟史 and 羽深 等,シリコンエピタキシャル成長におけるリン・ボロンの外方拡散,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2010-08-30,2010.2,0,2615-2615,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390862036410619136,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_2615