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山田 恭平 and 王 唯権 and 森田 剛,超音波洗浄のための二重反射面集束型振動子,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,383-384,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390862268805392000,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_383