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山内 怜大 and 水澤 直人 and 広本 恒輝 and 大参 宏昌 and 垣内 弘章,大気圧VHFプラズマを用いた2段階プロセスによるポーラスSiO<sub><i>x</i></sub>コーティングプロセスの研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,672-673,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390862268805519616,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_672