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柴崎 竜輝 and 橋本 洋平 and 古本 達明 and 小谷野 智広 and 山口 貢,両面研磨における定盤トルクの変化に基づく加工終点検知技術の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,682-683,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390862268805523072,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_682