著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
東口 武史,CO<sub>2</sub> レーザとEUVリソグラフィ光源,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2024-04-05,90,4,334-336,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390862654957415424,https://doi.org/10.2493/jjspe.90.334