C<sub>4</sub>F<sub>8</sub>/SF<sub>6</sub>ガス変調サイクルにおいてバイアス印加位相がエッチング形状に及ぼす影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Impact of bias supply timing on etched feature profiles in the C<sub>4</sub>F<sub>8</sub> and SF<sub>6</sub> cycle process
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 1447-1447, 2022-02-25
公益社団法人 応用物理学会