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末重 良宝 and 藤野 真久 and 須賀 唯知 and 一木 正聡,誘電体薄膜の剥離手法に関する研究,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2021-02-01,141,2,39-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1391131406310875648,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.141.39