著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 鷹巣 良史 and 嶋田 慶太 and 水谷 正義 and 厨川 常元,単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発,砥粒加工学会誌,0914-2703,社団法人 砥粒加工学会,2019-11-01,63,11,569-574,https://cir.nii.ac.jp/crid/1391693801396942080,https://doi.org/10.11420/jsat.63.569