著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
羽入 勇 and 武智 敏,ArFリソグラフィー技術の現状と展望,"電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C",13452827,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ,2001-12,84,12,1142-1149,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407101581056,