半導体超薄膜の成長と物性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ チョウ ハクマク ノ セイチョウ ト ブッセイ ヒョウカ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編]
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中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編] 21 (2), p198-217, 1988
大阪 : 大阪工大摂南大学中央研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407202097152
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- NII論文ID
- 40004716649
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- NII書誌ID
- AN10156003
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- ISSN
- 02878186
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- NDL書誌ID
- 3206667
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
