著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,特集 3次元LSIは消えたのか:第2部<技術編> コストを下げて民生機器へ TSVの製造技術を革新,日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation,03851680,東京 : 日経BP,2013-09-16,,1117,44-51,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407400411136,