著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
刑部 富夫 and 大石 宗司,反応性マグネトロンスパッタ法によるAlN膜の作製と特性,新居浜工業高等専門学校紀要. 理工学編,02862743,新居浜 : 新居浜工業高等専門学校,1987-01,,23,p18-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407529149056,