著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宇佐見 康継,解説 半導体ウェーハの次世代表面検査・評価システム,非破壊検査 : Jjournal of the Japanese Society for Non-destructive Inspection,03675866,[東京] : 日本非破壊検査協会,2001-05,50,5,272-276,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407531179904,