著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
唐沢 志郎,薄膜形成法--最近のCVD技術,ぶんせき,03862178,東京 : 日本分析化学会,1987-11,1987,11,p780-785,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407651087232,