著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中尾 昭和 and 山本 雅史 and 河野 昭彦,ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性,"電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C",13452827,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ,2010-10,93,10,360-366,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407717123968,