著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
曽根川 富博 and 上原 和浩 and 前濱 剛廣,低誘電率(Low-k)熱酸化陽極化成Siの作製と誘電特性の評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2008-04,108,1,41-46,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407847372672,