著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 菊田 大悟 and 成田 哲生 and 高橋 直子,硬X線光電子分光法によるp型GaNのドライエッチングダメージ評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2010-11,110,273,59-62,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407924878592,