著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
朴澤 一幸 and 古田 太 and 花岡 裕子,3次元システムLSI開発のためのチップレベルTSVプロセス,"電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C",13452827,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ,2013-11,96,11,335-343,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407953989376,