著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
森田 昇,シリコンウエハの延性研削の微視機構,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2000-10,44,10,426-428,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009407997444992,