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東口 武史 and 遠藤 彰 and 溝口 計,EUV光源開発の現状,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,2013-06,89,6,341-348,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408005036800,