著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
土井 智尭 and 橋本 優生 and 山本 貴富喜,真空紫外光による合成樹脂の微細パターニング法の研究,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2017,34,,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408110792064,