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大下 淳一 and 木村 雅秀,半導体のコストダウンは止まるのか? : 動き出す450mmウエハーと瀬戸際のEUV露光,日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation,03851680,東京 : 日経BP,2012-11-26,,1096,59-73,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408177164032,