Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) ,特集:シリコン関連材料の作製と評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2006-12-14,106,417,1-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408330216704,