著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中塚 理 and 北田 秀樹 and 金 永束,Wafer-on-wafer構造における貫通Si電極周辺の局所歪の評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2012-03-05,111,463,47-52,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408454405376,