著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐久間 純,半導体検査装置用DUV光源開発の進展,レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌,03870200,吹田 : レーザー学会,2013-09,41,9,697-702,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408473294592,