著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鎌田 直樹 and 林 靖彦 and 曽我 哲夫,メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2005-05-26,105,89,27-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408554840064,