著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小森 圭悟 and 森田 昇 and 高野 登,加工用AFMカンチレバーによるLSI多重層の単一層除去加工,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2009-06,53,6,385-387,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408633385984,