著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮辺 祐太郎 and 高橋 篤司 and 松井 知己,ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2014-03,113,454,87-92,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408697849472,