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新川田 裕樹 and 坪井 信生 and 津田 敦史,半断線ビア抵抗を検出するためのスクライブライン搭載アレイTEG技術の開発,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2015-08,115,190,7-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408733005312,