著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
福田 涼 and 正直 花奈子 and 蒋 楠 and 上杉 謙次郎 and 林 侑介 and 肖 世玉 and 三宅 秀人,r面サファイア上a面AlNスパッタ膜の高品質化と特性評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2018-11,118,331,83-86,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408787375616,