著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
熊野 勝文 and 羽賀 浩一,最近の研究 炭酸ガスを用いたプラズマCVD--シリコン酸・窒化膜への応用,まてりあ = Materia Japan,13402625,仙台 : 日本金属学会 ; 1994-,2006-11,45,11,797-802,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408797964928,