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西野 克弥 and 高橋 宏太 and 松田 時宜,IGZO薄膜に対する成膜条件による影響,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2014-12-12,114,360,83-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408872136320,