著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 片桐 祥雅 and 中野 義昭 and 小林 郁太郎,解説 高密度光集積回路へ向けた金属光配線技術,光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan,03896625,東京 : 日本光学会,2002-05,31,5,423-428,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009408969456768,