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豊田 裕輝 and 中村 徹,GaN及びAlGaNへのSi[+]イオン注入に関する研究,法政大学イオンビーム工学研究所報告,02860201,小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所,2009,,30,21-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409016670976,