著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 吉田 直樹 and 上羽 陽介 and 西尾 俊平 and 大八木 康之 and 法元 盛久 and 竪 直也 and 成瀬 誠 and 松本 勉,白色干渉計を用いた光学的3Dナノ人工物メトリクス,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2018-04-13,118,3,11-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409118483200,