Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
冨田 寛 and 佐藤 基之 and 灘原 壮一,酸化剤濃度コントロールSOMによるレジスト剥離技術,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2001-10-16,101,350,45-49,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409245909376,