オフ角Si(100)基板上に形成したAlN層上へのSiCヘテロエピタキシャル成長
書誌事項
- タイトル別名
-
- オフカク Si(100)キバン ジョウ ニ ケイセイ シタ AlNソウ ジョウ エ ノ SiC ヘテロエピタキシャル セイチョウ
- SiC heteroepitaxial growth on an AlN layer formed on off-axis Si(100) substrates
- 電子部品・材料
- デンシ ブヒン ・ ザイリョウ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
-
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 (202), 7-12, 2014-09
東京 : 電子情報通信学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009409305551360
-
- NII論文ID
- 110009950806
-
- NII書誌ID
- AA1123312X
-
- ISSN
- 09135685
-
- NDL書誌ID
- 025839472
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles