著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小方 淳也 and 伊藤 雄二 and 坪井 望,対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2004-11-11,104,425,27-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409333961728,