著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 林 裕美 and 松永 範昭 and 和田 真,CuSiN/Cu/Ti系バリア構造におけるCu表面酸化層のEM信頼性へ与える影響,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2011-02-07,110,408,19-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409466100864,